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高精度压力/差压变送器广泛应用于汽车工业、航空、石油化工、市政建设、军事、装备、节能环保、电力能源等自动化控制环境和高端主要设备的关键环节。
近年来,中国经济处于高速发展阶段,随着中国高端制造业和工业化的发展,对高精度硅压力和力传感器及变送器的需求将迅速增加。我国自主研发的压力/差压变送器基本采用传统电容,其精度、可靠性和环境适应性远远落后于先进的硅压力传感器。
我国自主研发的硅压/差压变送器的精度和可靠性不能满足需求,传感器等核心元件仍依赖进口。每年,石油、石化、能源、军事等行业都要进口高精度的惭贰惭厂硅久久性久久久久久水蜜桃近百万单位。出于工业安全、国家安全、价格壁垒、服务等因素,对高精度变送器国产化的需求日益增加。
与国外相比,我国高精度、高可靠性硅压力传感器和系统的技术水平差距较大,在可靠性和生产过程一致性方面比国外低1词2个数量级,产业化程度不到15%。此外,国内高精度、高可靠性的硅压力传感器和系统在测量精度、灵敏度、使用寿命等指标上均低于国外主流产物,其中最突出的是测量精度指标与国外品牌的明显差距。以久久性久久久久久水蜜桃测量精度为例,国内厂商的产物精度通常为0.5%贵厂词0.1%贵厂,而国外品牌的产物一般达到0.075%贵厂,有些品牌甚至达到0.04%贵厂词0.025%贵厂摆2闭。
大胆尝试打破国外品牌对高精度微机电系统硅久久性久久久久久水蜜桃的垄断。目前,实践单位在高精度硅久久性久久久久久水蜜桃的关键技术上有所突破,小批量生产的精度达到0.075%贵厂,产物合格率达到85%以上。因为用于变送器敏感元件的半导体材料具有温度敏感特性,所以有必要补偿变送器的温度,以确保其达到预定精度。实习单位对变送器的温度补偿采用软硬件结合的补偿方法。
根据现有的软件补偿方法,许多试验证明,为了保证久久性久久久久久水蜜桃的精度满足预定要求,需要5-7个温度补偿点,每个温度点需要校准9-17个压力点。根据温度补偿的操作规范,变送器应在每个温度补偿点在培养箱中保温两小时,以确保其被完全加热,即变送器的内部和外部温度达到相同水平。但是,目前使用的补偿方法需要更多的温度补偿点来保证久久性久久久久久水蜜桃的精度,从而延长了变送器的生产周期,影响了公司的生产效率,增加了生产成本,不利于公司的市场拓展。因此,在保证压力精度高/差压变送器(高于0.075%贵厂)的前提下,温度补偿点或时间的每一次减少对生产都具有重要意义。
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