本文溅射薄膜压力传感器及变送器原理介绍资料由优质变送器生产报价厂家为您提供。
溅射压力传感器和变送器原理介绍1。自1993年我公司生产的溅射压力传感器在国内上市以来。溅射压力传感器和发射器发展迅速。在压力测控领域，它已经成为中高压测量的主力军。目前，我公司采用溅射薄膜压敏元件生产的各种大中型压力传感器变送器已广泛应用于油井高压高温测量、柴油机共轨压力测量、水利、电力、机械制造、冶金能源等领域。第二，溅射压敏元件的基本原理是在10级超净室中，通过微电子制造工艺。也就是说，在高真空度下，绝缘材料和电阻材料通过使用磁控制技术以分子形式沉积在弹性不锈钢隔膜上，以形成与弹性不锈钢隔膜集成的分子结合的绝缘膜和电阻材料膜。经过光刻、电阻调整、温度补偿等工序，在弹性不锈钢膜片表面形成牢固稳定的惠斯顿电桥。这座桥是仪表和传感器等测量设备中的基本环节。当被测介质压力作用在弹性不锈钢膜片上时，另一侧的惠斯顿电桥产生一个与压力成正比的电输出信号。这个信号被放大和调整。通过适当的结构，它成为一个压力传感器，并应用于各种领域。三、目前市场上常见的压力传感器的特点是扩散硅、差压电容、陶瓷压阻、金属应变片粘贴等品种。溅射薄膜压力传感器是近年来刚刚进入市场的一颗新星。它的一个突出特点是不受温度的影响。当温度变化100℃时，零点漂移仅为0.5%。其温度性能远远优于扩散硅压力传感器。由于溅射惠斯通电桥和弹性不锈钢膜片匹配良好且集成在一起，因此没有粘合剂。因此，它显示出比粘贴式应变计传感器更高的长期稳定性和可靠性。压敏元件材料为17-4PH弹性不锈钢，与之焊接的压力接头为316不锈钢或1Cr18Ni9Ti不锈钢，可与一般腐蚀介质直接接触。因此，可用于腐蚀性介质的压力测量和控制，应用范围广。弹性不锈钢膜片是通过机械加工、研磨等工艺制成的。在选择敏感元件的有效区域之后，也确定其压力范围。目前，为了满足批量生产的需要，我公司只引进了一种外径为φ7的隔膜。这限制了它在低压和小压力范围内的应用。其压力测量范围为0-0.7兆帕至0-220兆帕。因此，该φ7溅射压力传感器更适用于大中型压力的测控工程。将压力敏感元件和压力接头焊接在一起是一个关键过程。在英国的自动化生产线上，焊接采用大功率激光焊机，焊接深度可达2.2毫米。我公司采用电子束焊接技术进行焊接。根据多年的传感器焊接经验，我们根据不同的测量范围和结构条件选择不同的焊接工艺参数。确保没有焊接应力。实践证明，我们的焊接质量和焊后传感器稳定性完全满足传感器技术参数的要求。产物经过各种工艺处理后，传感器的稳定性和可靠性进一步提高。我公司的溅射压力传感器变送器在结构设计上采取了有效措施，使产物具有更大的抗冲击性能。我们自己设计的电子电路使产物具有更宽的电压输入范围。采用散热结构设计，使产物具有更好的耐高温性能；生产过程中添加的特殊处理工艺使产物具有更好的长期稳定性。Iv .性能指标压敏元件和传感器:范围(巴)7 10 16 20 35 70 100 160 250 400 700 1000 1600 1800 2200灵敏度mv/v 1.27 1.21 1.24 1.30 1.67 1.81 2.26 1.98 2.19 2.13 2.26 1.33 1.40 1.08 0.005% FS/℃灵敏度温度漂移变送器技术参数:量程:7-2200巴电源电压:12-36V输出信号:4-20mA允许过压:150%FS精度:0.25%，0.5%工作温度:-40-80℃稳定性:< 0.1%FS/年温漂:< 0.01%FS℃防护等级:IP67总之，我公司溅射压力传感器变送器采用先进合理的焊接技术和加工工艺。根据各种安装条件，自行设计电子调节电路和灵活的结构设计。这使得我们的溅射压力传感器变送器更适合我国的具体使用条件。使它具有更强的生命力。随着工业自动化测控技术的快速发展，溅射压力传感器变送器的应用将越来越广泛。
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